参数类别	具体参数
材料	BG
尺寸	L77~80 mm
厚度	100~300 μm
厚度公差	±5 μm
TTV	≤0.5 μm
Warp	/
BOW	/
粗糙度（ZYGO）	0.15 nm
角度精度	/
PV (λ)	/
外观质量	Scratch width＜10μm，Length＜0.5mm，Dig diameter＜10μm
生产能力	400K sheet/month（400K 片 / 月）